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直線運動平臺

BJSM氣浮導軌直線電機平臺

文章來源:未知時間:2021-01-07 點擊:

BJSM氣浮導軌直線電機平臺

氣浮導軌直線電機平臺采用高精密氣浮導軌作為運動導向，運動系統無摩擦阻尼，大大提高系統運行精度。 系統采用直線電機驅動，高精密光柵尺或激光尺反饋。平臺系統整體采用花崗巖結構。系統應用：激光加工，精密微納加工、精密測試測量，液晶面板加工、檢測，Wafer加工檢測等
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詳細說明

 


技術指標：

  1. XY軸設計行程500*500mm
  2. 平臺的重復定位精度±0.1-0.5微米，定位精度± 1μm
  3. 最大運行速度500mm/s
  4. 系統最大加速度2G（無負載情況）
  5. 精密氣浮導軌
  6. 高精密光柵尺反饋
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