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BJSM氣浮導軌直線電機平臺

文章來源:未知時間:2021-01-07 點擊:

BJSM氣浮導軌直線電機平臺

氣浮導軌直線電機平臺采用高精密氣浮導軌作為運動導向,運動系統無摩擦阻尼,大大提高系統運行精度。 系統采用直線電機驅動,高精密光柵尺或激光尺反饋。平臺系統整體采用花崗巖結構。系統應用:激光加工,精密微納加工、精密測試測量,液晶面板加工、檢測,Wafer加工檢測等
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詳細說明

 


技術指標:

  1. XY軸設計行程500*500mm
  2. 平臺的重復定位精度±0.1-0.5微米,定位精度± 1μm
  3. 最大運行速度500mm/s
  4. 系統最大加速度2G(無負載情況)
  5. 精密氣浮導軌
  6. 高精密光柵尺反饋
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